STI量产流程
2015-02-04 00:25:49 1 举报
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VI
作者其他创作
大纲/内容
OP点击Run按钮
加载recipe
扫描LOT，输入MAT，OP信息
EQ加载Recipe
设备报警
根据输入信息，在MES中做预Start
MES Recipe
预Start
N
在EMS中找到Recipe
MES
EMS Recipe
下载Recipe到EQ
Y
VI量产流程
在MES中找到Recipe
设备处于online-remote
MES中做正式Start
EMS
设备生产
EQ状态为UP
recipe比对
EQ设备
Recipe比对
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