MEMS微镜光学采集仪
2017-09-19 15:53:44 0 举报
MEMS探头光学采集仪的控制流程图
作者其他创作
大纲/内容
USB接口通信
UART通信（DB9接口）
光源1
PC端
光纤（905）
光学整机一号机
处理之后的限位信号
CCD图像传感器
MEMS驱动（DB9接口）
电机控制二号板
MEMS探头
限位信号
二合一光纤（905）
光源2
SWD通信
光学整机二号机
电机控制一号板
被测物体
驱动信号
图像采集
两相电机
照明
光谱仪
脉冲和方向
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