条件结构流程图
2017-10-25 23:16:42 32 举报
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镀膜异常处置
作者其他创作
大纲/内容
是
记录异常记录
药材光斑
是否有异常
确认每层真空度
重新取样/更换灯泡
通报所有技师
确认电子枪灯丝
确认离子源LOG
确认补正板
确认镀膜LOG/报警记录
确认镀膜速率曲线
错误
确认氧气&氩气流量
光谱异常
镀膜机异常记录表
确认镀膜晶振实际厚度
检查坩埚盘坐标
确认挡料板位置
晶控速率
否
真空度/充氧量
确认光谱仪取样时间/灯泡寿命
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职业：暂无
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