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硅晶圆制造工艺流程图

2020-12-15 10:09:21 15 举报
硅晶圆制造工艺流程图
硅晶圆
流程图
作者其他创作
大纲/内容
单晶硅柱
Si (99.999%)
冶金级纯化
Siemens Process
直拉法/柴可拉斯基法
氧化硅（砂）
纯硅（98%）
切割
硅晶圆(wafer)
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