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超纯工艺简介

2020-11-15 20:30:47   0  举报

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超高纯工艺流程简介

超高纯工艺

作者其他创作

大纲/内容

VOD精炼炉

316L VIM-VAR

生产制造

热去离子水温度

4.成品包装标识及追溯信息，在不拆包装的状态下清晰可辨。

Run

第1步超高纯工艺架构

标识

超高纯工艺架构

第10步理解超高纯工艺对于制造企业的意义

Test

平台D

流道平顺

选材

VAR布局图

End - EndOwnership

≤40pcs

资源调配

316L VAR

不锈钢棒材、锻件、挤压型材、板材和管材元件用于一般用途、高纯和高纯度半导体制造应用的规范

资源整合

表面缺陷分析

降低颗粒

产品制造

人力

参照SEMI F37用于气体分配系统原件确定表面粗糙度参数

SIP

UHP加工车间

SEMI F37

不锈钢棒材和型材规格

公司架构

316L

... ...

锅炉及其他压力容器用不锈钢棒材和型材的规格

焊接车间

检验方法

3.袋装后的成品，采用盒装防护;

SEMI F72

设备

在洁净环境中进行超高纯清洗、焊接、装配、测试、包装，确保产品不被污染。

量产

品质反馈

倒角光滑

SOP

第3步原材料提纯

制造能力

最小值176°F（80°C）

在5个样品区域内，每个区域的最大缺陷数

DV膜片阀

清洗车间

产品设计

表面光洁

控制尺寸与加工面质量

第9步理解什么样的产业结构适合超高纯工艺

ASTM A751，钢制品化学分析的试验方法、规程

表面粗糙度（Ra）

运维专家团队

晶间腐蚀测试

≥1.5:1

精密化

＜10个群类/100毫升

加工面光洁

加工

清洗及干燥

SEMI F60

工艺

≥15°A

测试专家团队

物料

SEMI F73

DBA专家团队

电解抛光也叫电化学抛光，是将抛光工件放入配置好的电解抛光液中并作为阳极，用耐蚀导电性能良好的材料（如：铅板）作阴极，在通以直流电（整流器将380V的交流电转变成0~15V的直流电）后，工件表面发生选择性的阳极溶解现象。根据尖端放电的原理，工件表面微小凸出部位优先溶解，然后溶解产物和抛光液组成了高电阻的粘稠性粘膜，微小凸出部位的膜层薄，电阻小、电流密度大，从而保持较大的溶解速度，而凹洼部位被黏性物质填平，溶解的膜层厚、电阻大、电流小，所以溶解缓慢。　　与此同时电解抛光液都是由强氧化性物质组成，使得在抛光过程中金属表面不断生成氧化膜，而由于阳极电流的作用，氧化膜又被不断被溶解，由于电流分布与膜液的关系使得微小凸出部位的氧化膜的生成和溶解速率都大于凹洼部位，这些作用经过一定的时间后，微小凸出部位被逐渐溶解削平，直至消失，使原来凹凸部位基本达到一致，工件的表面显示平滑光亮，从而达到抛光的目的。

防污

超高纯产品流道粗糙度可达Ra 5μin.(0.15μm）以下

……

产品使用聚乙烯包装袋双层包装，外层包装袋贴有工艺标识。

减压器

平台C

≥2:1

2.成品双层袋装防护，内层采用聚乙烯材质的无尘塑料袋真空密封，外层采用聚乙烯塑料袋充洁净干燥的氮气密封;

Atchitect

平台B

IPQC

资金

Dev IT价值链 Ops

无尘室

产品

Review

电解抛光处理

分析类型

化学成分分析

用户体验专家团队

包装

符合上述要求的产品先在洁净室使用DI水（工艺要求如下图）超声波震洗

核心竞争

Design

不锈钢材料通过氢氧脱碳(AOD)或真空脱碳(VOD)精炼，可将C、Mn、Si、P、S等有害化学元素控制到低水平。又经过真空电弧再溶解(VAR)处理，使得材料纯度更高，其特性更为优异。这种材料也被称为316L VAR。而采用VDR材料，先用真空感应熔炼(VIM)，然后再经过真空电弧再溶解(VAR)处理，通过这种特殊精炼方式使得材料的C、Mn、Si、P、S降到最低的材料被称为316L VIM-VAR。

原材料选取

DI水参数表

＜5ppd

夹杂物分析

FSR接头

支撑

第2步工艺设计

第8步焊接、装配、测试、包装及标识

≤5μin.

1.产品功能端口，比如阳螺纹或密封面，应使用洁净保护膜并带上保护套;

大数据、商业智能

超高纯工业系统 Ultra High Pureindustry