废水系统处理流程
2022-05-15 17:58:44 1 举报
氢氟酸废水处理流程2 3
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大纲/内容
W-T-9804 A/B 应急池
W-T-2101 A1A2HFW收集池74M3X28503 A/B 风机
8502A/B气机
PHX2
W-T-2502BMetal CMP原水池479.1m3
FX1PHX1
H2SO4X1NaCHX2CaCl2X2
W-T-2107/22072307/2407Seffing TankA
R-2101A-J
CMP-Cu
160 方P-2101 A1A2A3
制程排水
P-2501A1A2A3
W-T-2107/22072307/2407Seffing TankB
6102无机污泥储存槽
9101 B 无机应急池
PAM
NaOHX2H2SO4X1
W-T-2503OMT PH调节池
W-T-2101 A/BHFT 原水池3008.4m3x2
W-T-2106/22062306/2406HFT絮凝池102m3
W-T-2104/22042304/2404HFT 反应池110m3
8501 A/B/C 风机
P-2107B1-B4
P-2107A1-A4
W-T-2103/22032303/2403HFT PH调节池114m3
W-T-2501 B1/B2126.9m3X28503 A/B风机
FX2
HFT污泥循环
W-T-9801 A/B 应急池
W-T-2105/22052305/2405HFT混凝池106m3
NaOHX2H2SO4X1CaCl2X2PAC
FX2PHX2
6101A1B1C无机污泥储存槽
9101 A 无机应急池9101B无机应急池
HF-CMP
W-T-2501 A1/A2126.9m3X28503 A/B风机
CMP-Metal收集槽
大中和
W-T-2502 AOxide CMP原水池489.2m3
8503 A/B 风机
HFW
CMP-Oxide 收集槽
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