低压等离子体辉光放电原理
2023-02-24 09:06:38 4 举报低压等离子体辉光放电
作者其他创作
大纲/内容
离子
接地
-
+
电子
两极板
后续会生成等离子体，粒度很高静电屏蔽：阻止电子到下面极板后续辉光放电
半径10cm圆
二次电子
等离子体(plasma)又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质
中性气体
低气压氩气
氩离子
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