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机台ICPMS标准处理流程

2024-08-29 14:30:32 0 举报
机台ICPMS标准处理流程
SOP
作者其他创作
大纲/内容
NG
coating 0.9um
ICPMS test
coating 0.6um(3000Z*2)
End
OK
INDY-B TEOS
quartz wet cln or change
Test Run
coating 1.8um
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